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Edwards
Edwards Polycold® MaxCool 2000 Kryokühler
Edwards Polycold® MaxCool 2000 Kryokühler
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Effiziente Abscheidung von Wasserdampf (65–95 % des Restgases in Hochvakuumsystemen)
Der Edwards Polycold® MaxCool 2000 ist ein kryogenes Kühlsystem mit geschlossenem Prozess zur effizienten Abscheidung von Wasserdampf.
Er entfernt Feuchtigkeit und andere kondensierbare Stoffe durch Ausfrieren auf kalten Oberflächen wie Kryospiralen oder Chevron‑Baffles. Dadurch werden die Prozessstabilität verbessert sowie höhere Qualität und Reproduzierbarkeit erzielt.
Zusätzlich eignet sich das System zum Kühlen und Erwärmen von Bauteilen, beispielsweise elektrostatischen Chucks in der Halbleiterproduktion.
Kühlleistung: bis zu 2.000 Watt
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