Kalibrierung Hochvakuum

Kalibrierung Hochvakuum

Die Hochvakuum‑Kalibrierung umfasst den Messbereich von 10⁻⁵ mbar bis etwa 10⁻² mbar.
Je nach eingesetzter Messröhre können diese Grenzen um eine Größenordnung nach oben oder unten verschoben werden.

Zu dieser Kategorie zählen reine Heiß‑ und Kaltkathoden‑Ionisationsvakuummeter, hochempfindliche Kapazitätsmembran‑Vakuummeter sowie Gasreibungsvakuummeter.

Unsere Werkskalibrierung dokumentiert alle Abweichungen Ihres Messsystems. Die Kalibrierungen erfolgen gemäß folgenden Normen:

Verwendete Normen

• ISO 19685:2017
  Vakuumtechnik – Vakuummeter – Festlegungen, Kalibrierung und Messunsicherheiten für Pirani‑Vakuummeter
• DIN ISO 3567:2015
  Kalibrieren von Vakuummetern durch direkten Vergleich mit einem Bezugsnormal
• ISO 27893:2011
  Ermittlung der Messunsicherheit von Kalibrierergebnissen durch Vergleich mit einem Bezugsnormal
• DIN EN ISO 20486:2018
  Zerstörungsfreie Prüfung – Dichtheitsprüfung – Kalibrieren von Referenzlecks für Gase
• DKD‑R‑6‑2, Teil 2
  Kalibrierung von Messmitteln für Vakuum

Im Kalibrierprozess enthalten

• Reinigung des Kalibriergegenstands
• Justage und Abgleich
• Nullpunkteinstellung
• Dokumentation aller Abweichungen

Unsere Hochvakuum‑Kalibrierung stellt sicher, dass Ihre Messgeräte im gesamten Hochvakuumbereich präzise, rückführbar und normgerecht arbeiten.