Kalibrierung Hochvakuum
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Kalibrierung Hochvakuum
Die Kalibrierung Hochvakuum umfasst den Messbereich von 10⁻⁵ mbar bis etwa 10⁻² mbar, je nach verwendeter Messröhre können die Grenzen auch noch um eine Größenordnung verschoben werden. In diese Kategorie gehören die reinen Heiß- und Kaltkathodenionisationsvakuummeter, einige hochempfindliche Kapazitätsmembranvakuummeter, sowie die Gasreibungsvakuummeter.
ISO 19685:2017
Vakuumtechnik – Vakuummeter – Festlegungen, Kalibrierung und Messunsicherheiten für Pirani-Vakuummeter,
DIN ISO 3567:2015
Vakuummeter – Kalibrieren von Vakuummetern durch direkten Vergleich mit einem Bezugsnormal,
ISO 27893:2011
Vakuumtechnik – Vakuummessgeräte – Ermittlung der Messunsicherheit der Ergebnisse von Kalibrierungen durch Vergleich mit einem Bezugsnormal,
DIN EN ISO 20486:2018
Zerstörungsfreie Prüfung – Dichtheitsprüfung – Kalibrieren von Referenzlecks für Gase
DKD-R-6-2 Teil 2
Kalibrierung von Messmitteln für Vakuum
Selbstverständlich beinhaltet die Kalibrierung die Reinigung, Abgleich bzw. Nullpunkteinstellung des Kalibriergegenstands.