Leybold PENNINGVAC PTR 225 N

PENNINGVAC PTR 225 N

In den TTR 200 N und PTR 200 N Transmittern wurden verschiedene Messtechnologien in einem Gehäuse kombiniert. Dadurch sind diese Sensoren ideal für den Einsatz in Vakuumschleusenkammern. Die Transmitter bieten einen weiten Absolutdruckmessbereich und einen Differenzdruckmessbereich von -1013 bis +1013 mbar (bezogen auf den Umgebungsdruck). Der höchst präzise Differenzdrucksensor eignet sich in idealer Weise für die Steuerung von Schleusenkammern, da dieser unempfindlich gegenüber Atmosphärendruckbedingungen ist. Eine effiziente Steuerung der Schleusenkammer verbessert den Durchsatz aufgrund einer verringerten Zykluszeit.

Vorteile für den Anwender

• Schnelle, präzise Druckmessungen mit hoher Wiederholgenauigkeit zur Verringerung der Prozesszykluszeit
• Druckmessungen unabhängig von der Gasart im Bereich von 50 mbar bis 1500 mbar
• Kombination von Absolutdruck- und Differenzdruck-Messungen bei bisher unbekannter Präzision bei der Steuerung des Drucks in der Schleusenkammer
  
• Drei integrierte Sollwerte
  
• Bis zu drei Sensoren in einem Gehäuse für einen weiten Messbereich
  
• Messsignal unabhängig von der Montagelage
  
• Einfacher Betrieb durch Analogausgang und Digitalkommunikation
  
• Mit LED-Ring zur Sensorstatusanzeige

Typische Anwendungen

• Schleusenkammeranwendungen
• Über- und Unterdrucksteuerung der Kammer, abhängig von der Umgebung
• Beschichtungssysteme (zum Beispiel UNIVEX)
• Herstellung von Vakuumkammern
• Prozesse, die sowohl Absolutdruckmessungen als auch Umschaltung bei Atmosphärendruck erfordern
• Analytische Messgeräte (zum Beispiel Steuerung von Massenspektrometern)
• Rasterelektronenmikroskop